devas@nano.cnr.it

home » libere » ebl sem

Sistema di litografia elettronica  (EBL) e microscopia elettronica a scansione (SEM)

 

Descrizione qualitativa

Sistema di litografia a fascio elettronico e microscopio elettronico a scansione scopia elettronica a scansione (SEM).

 

Caratteristiche tecniche

Colonna elettronica SEM: Zeiss SIGMA.

EBL: pattern generator Raith ELPHY Quantum.

 

Campi di applicazione

Litografia a fascio elettronico e microscopia elettronica a scansione.

 

Laboratorio: L05. Laboratorio di nanofabbricazione e microscopia elettronica

Responsabile: Gian Carlo Gazzadi

Ubicazione: Piano Terra, Stanza: MO-17-00-008


Valid XHTML 1.0 Transitional