Fascio Ionico Focalizzato (FIB) e Microscopio Elettronico a scansione (SEM) combinati
Descrizione qualitativa
Fascio ionico focalizzato per la realizzazione di strutture nanometriche ordinate e microscopio elettronico con risoluzione nanometrica. Sistema unico con fasci combinati e confocali.
Caratteristiche tecniche
FIB: FEI STRATA DB235M. Ga FIB - 30 KeV, 7 nm risoluzione.
SEM: SFEG SEM - 2 nm risoluzione. Sistema di analisi EDX.
Accessori: 4 Gas Injectors: Pt, Co, TEOS, Iodine. 2 nanomanipolatiri in-situ adatti a; test di tipo elettrico e magnetico, preparazione lamelle TEM.
Campi di applicazione
Nanofabbricazione tramite crescita localizzata e/o erosione controllata con fascio ionico. Microscopia elettronica e con fascio ionico su campioni realizzati in situ. Microscopia elettronica e analisi EDX.
Laboratorio: L05. Laboratorio di nanofabbricazione e microscopia elettronica
Responsabile: Gian Carlo Gazzadi
Ubicazione: Piano Terra, Stanza: MO-17-00-080